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Omega-欧米伽
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气体流量计FMA3100
规格:
 
输出: 0 ~ 5 Vdc(最小值2500 ?)
输入设定电压 
(仅FMA3200): 0 ~ 5 Vdc
精度: 满量程的±1.5%*
重复性: 满量程的±0.5%
响应时间: 在满量程的25 ~ 100%范围大约2秒(常规)达到设定流速的±2%内
工作环境: 10 ~ 50°C (50 ~ 122°F),无冷凝空气
工作压力范围: 25°C (77°F)时达到最大值150 psi
温度系数: 每°C为±0.2%
压力系数: 每psi为±0.02%
泄漏完整性: 对于外界环境,最大值为1x10-4SCCS氦气
输入电源:
    FMA3100和FMA3300: 12 ~ 15 Vdc,100 mA (1.5 W)
FMA3200: 12 ~ 15 Vdc,250 mA (3.75 W)
连接口: 流速达到1 L/min时,采用?"压合接头;流速达到5 L/min时,采用?" 压合接头;流速达到10 L/min时,采用?"压合接头
接液材质: 阳极氧化铝、氟橡胶O形圈、304和316不锈钢、环氧树脂、乙缩醛压合管接头(标配)
量程比: 10:1
气体: 大部分洁净、干燥气体(例如,空气、氮气、二氧化碳、氩气、氢气、氦气、甲烷、氧气)
过滤:如果气体中含有任何颗粒物质,需要使用20微米过滤器
规格(FMA3200流量控制器)
压差: 15 ~ 40 psi
阀门工作寿命: >1百万次循环;阀门处于常闭状态
阀门处的泄漏率: 0.2 SCCM或低于满量程的2%,以较大值为准
控制量程: 50:1
远程设定电压: 0 ~ 5 Vdc
重量:
        FMA3100: 199 g (0.44 lb)
        FMA3300: 249 g (0.55 lb)
        FMA3200: 386 g (0.85 lb)
不带接头的尺寸(近似值):
        FMA3100: 47(长)x 26(宽)x 90 mm(高)(1.87 x 1.03 x 3.55")
        FMA3300: 47(长)x 26(宽)x 127 mm(高)(1.87 x 1.03 x 5.0")
        FMA3200: 81(长)x 26(宽)x 97 mm(高)(3.17 x 1.03 x 3.80")

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